- испарительно-ионный вакуумный насос
-
испарительно-ионный вакуумный насос
Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором ионизированный газ направляется к поверхности геттера, получаемой в результате непрерывного или периодического испарения.
[ГОСТ 5197-85]Тематики
- вакуумная техника
EN
- sublimation ion vacuum pump
DE
- Ionenverdampfervakuumpumpe
FR
- pompe à vide ionique à sublimation
Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.
Смотреть что такое "испарительно-ионный вакуумный насос" в других словарях:
СОРБЦИОННЫЙ НАСОС — вакуумный насос. в к ром откачка происходит вследствие сорбции газа. Разновидностями С. н. являются адсорбционный, геттерный (напр., испарительно геттерный, геттерно ионный, магнитный электроразрядный) и криогенный вакуумные насосы … Большой энциклопедический политехнический словарь
ГЕТТЕРНО-ИОННЫЙ НАСОС — геттерный вакуумный насос, в к ром наряду с хемосорбцией возникает ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распылённого геттера. Различают испарительно ионные насосы, в к рых ионизиров. газ направляется к непрерывно … Большой энциклопедический политехнический словарь